000 00526nam a22002657a 4500
008 200409200409b mp ||||| |||| 00| 0 mon d
020 _c2500
035 _a7524
040 _cMNUAC
041 _aeng
082 _221
_a600 A-20
_b0
100 _a0
245 0 _aAdvanced mems packaging
_b0
_c0
250 _a0
260 _a0
_bMcGraw-Hill
_c2010
300 _a551
_b0
_c0
490 _v0
500 _a0
504 _a0
505 _a0
520 _aNULL
653 _a0
700 _a0
942 _2ddc
_cBK
999 _c4457
_d4457